Laser induced backside wet etching of fused silica absorption coefficient dependence /

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Vass Csaba
Hopp Béla
Smausz Tomi
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: SPIE - The International Society for Optical Engineering 2003
Sorozat:PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING 5131
doi:10.1117/12.513623

mtmt:1084034
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9099
LEADER 00863nab a2200217 i 4500
001 publ9099
005 20191017144747.0
008 170503s2003 hu o 0|| zxx d
022 |a 0277-786X 
024 7 |a 10.1117/12.513623  |2 doi 
024 7 |a 1084034  |2 mtmt 
040 |a SZTE Publicatio Repozitórium  |b hun 
041 |a zxx 
100 1 |a Vass Csaba 
245 1 0 |a Laser induced backside wet etching of fused silica  |h [elektronikus dokumentum] :  |b absorption coefficient dependence /  |c  Vass Csaba 
260 |a SPIE - The International Society for Optical Engineering  |c 2003 
300 |a 200-204 
490 0 |a PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING  |v 5131 
700 0 1 |a Hopp Béla  |e aut 
700 0 1 |a Smausz Tomi  |e aut 
856 4 0 |u http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9099/1/2003_Vass_Proceedings_of_SPIE_5131_pp._200_204_u.pdf  |z Dokumentum-elérés