Fabrication of 150 nm Period Grating in Fused Silica by Two-beam Interferometric Laser Induced Backside Wet Etching Method
Elmentve itt :
Szerzők: | |
---|---|
Dokumentumtípus: | Cikk |
Megjelent: |
2006
|
Sorozat: | OPTICS EXPRESS
14 No. 18 |
doi: | 10.1364/OE.14.008354 |
mtmt: | 1083956 |
Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9097 |
Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 8354-8359 |
---|---|
ISSN: | 1094-4087 |