Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Nánai L
Vajtai Róbert
Kiss János
Luches A
Mihailescu IN
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: 1998
Sorozat:PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING 3573
Tárgyszavak:
mtmt:1077658
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/5563

Hasonló tételek