Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Nánai L
Vajtai Róbert
Kiss János
Luches A
Mihailescu IN
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: 1998
Sorozat:PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING 3573
Tárgyszavak:
mtmt:1077658
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/5563
LEADER 00956nab a2200241 i 4500
001 publ5563
005 20221125133429.0
008 150921s1998 hu o 0|| zxx d
022 |a 0277-786X 
024 7 |a 1077658  |2 mtmt 
040 |a SZTE Publicatio Repozitórium  |b hun 
041 |a zxx 
100 1 |a Nánai L 
245 1 0 |a Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes  |h [elektronikus dokumentum] /  |c  Nánai L 
260 |c 1998 
300 |a 104-107 
490 0 |a PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING  |v 3573 
650 4 |a Fizikai kémia, polimertudomány, elektrokémia (szárazelemek, akkumulátorok, üzemanyagcellák, fémek korróziója, elektrolízis) 
700 0 1 |a Vajtai Róbert  |e aut 
700 0 1 |a Kiss János  |e aut 
700 0 1 |a Luches A  |e aut 
700 0 1 |a Mihailescu IN  |e aut 
856 4 0 |u http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/5563/1/061.%20dolgozat.pdf  |z Dokumentum-elérés