Micromachining using the high energy flat-top beam of a femtosecond pulse UV laser system micropillar prefabrication /
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2023
|
| Sorozat: | APPLIED PHYSICS A - MATERIALS SCIENCE AND PROCESSING
129 No. 6 |
| Tárgyszavak: | |
| doi: | 10.1007/s00339-023-06679-x |
| mtmt: | 33871039 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/35991 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 9 |
|---|---|
| ISSN: | 0947-8396 |