Thickness distribution of carbon nitride films grown by inverse pulsed laser deposition
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2005
|
| Sorozat: | APPLIED SURFACE SCIENCE
247 |
| doi: | 10.1016/j.apsusc.2005.01.041 |
| mtmt: | 155819 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/18151 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 182-187 |
|---|---|
| ISSN: | 0169-4332 |