Oblique drilling by Ti Sapphire fs laser in silicon /
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2015
|
| Sorozat: | JOURNAL OF LASER MICRO NANOENGINEERING
10 No. 1 |
| doi: | 10.2961/jlmn.2015.01.0015 |
| mtmt: | 2844602 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/12129 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 81-86 |
|---|---|
| ISSN: | 1880-0688 |