Periodic surface structure creation by UV femtosecond pulses on silicon
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2017
|
| Sorozat: | AIP Conference Proceedings
1796 |
| doi: | 10.1063/1.4972366 |
| mtmt: | 3187830 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/10905 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | Terjedelem: 5 -Azonosító: Paper 10.1063/1.4972366 |
|---|---|
| ISSN: | 0094-243X |