Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára
A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a po...
Elmentve itt :
| Szerző: | |
|---|---|
| További közreműködők: | |
| Dokumentumtípus: | Disszertáció |
| Megjelent: |
2017-11-15
|
| Tárgyszavak: | |
| doi: | 10.14232/phd.4012 |
| mtmt: | 3349337 |
| Online Access: | http://doktori.ek.szte.hu/4012 |
| Tartalmi kivonat: | A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a polarizációs állapot a mintára jellemző módon fog megváltozni. Ennek detektálásával következtetni tudunk a minta számos tulajdonságára, leggyakrabban a szerkezetre és az optikai jellemzőkre. Ha a minta vagy a mérőeszköz egyes tulajdonságai olyan módon befolyásolják a mérést, hogy a visszaverődő fény nem jellemezhető egy tiszta polarizációs állapottal, akkor depolarizáció megjelenéséről beszélhetünk. A depolarizáció különböző forrásokból eredhet, azonban minden esetben lerontja a mérés pontosságát és körültekintő kiértékelést követel meg a kezelése. Doktori munkám fő feladata a depolarizáció különféle típusainak vizsgálata, illetve az egyes típusok esetén a kiértékelést megkönnyítő eljárások megadása volt. |
|---|