High repetition rate PLD grown titanium oxide thin films

In this paper, we present a comprehensive study on the potentials and limitations of high repetition rate pulsed laser deposition ( PLD), using a diode- pumped solid state (DPSS) Nd : YAG laser, operated at 532 nm. Titanium oxide thin films were deposited at 5 Pa of oxygen on silicon substrates with...

Teljes leírás

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Búzás András
Égerházi László
Geretovszky Zsolt
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: 2008
Sorozat:JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 41 No. 8
doi:10.1088/0022-3727/41/8/085205

mtmt:1892885
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/18194

Hasonló tételek